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質量流量控制器常見故障介紹(二)

2021-09-10 07:44:44
本文關鍵字:質量流量控制器

  質量流量控制器可用于對各種氣體的質量流量進行控制和準確測量,它大量用于電子工藝設備中,如等離子刻蝕、擴散、濺射、外延、氧化、CVD等,以及光導纖維、鍍膜設備制造設備中,并廣泛用于冶金、制藥、石油化工等行業。
 
  質量流量控制器是采用感熱式測量,通過分體分子帶走的分子質量多少從而來測量流量,因為是用感熱式測量,所以不會因為氣體溫度、壓力的變化從而影響到測量的結果。質量流量控制器可以通過模擬電流、模擬電壓,或者PLC、計算機提供設定值。
 
  質量流量控制器常見故障介紹

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