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質(zhì)量流量控制器可實(shí)現(xiàn)流量的自動(dòng)控制

2021-08-31 08:17:57
本文關(guān)鍵字:質(zhì)量流量控制器

  質(zhì)量流量控制器不但具有質(zhì)量流量計(jì)的功能,重要的是,它能自動(dòng)控制氣體流量,即用戶可根據(jù)需要進(jìn)行流量設(shè)定,MFC自動(dòng)地將流量恒定在設(shè)定值上,即使系統(tǒng)壓力有波動(dòng)或環(huán)境溫度有變化,也不會(huì)使其偏離設(shè)定值。
 
  質(zhì)量流量控制器可以將流量測(cè)量值以輸出標(biāo)準(zhǔn)電信號(hào)輸出。這樣容易實(shí)現(xiàn)對(duì)流量的計(jì)算機(jī)管理、累積流量自動(dòng)計(jì)量、數(shù)字顯示、數(shù)據(jù)自動(dòng)記錄等。對(duì)質(zhì)量流量控制器而言,還可以實(shí)現(xiàn)流量的自動(dòng)控制。質(zhì)量流量控制器能方便地與計(jì)算機(jī)連接,進(jìn)行自動(dòng)控制。質(zhì)量流量控制器可以地控制氣體的給定量,這對(duì)很多工藝過程的流量控制、對(duì)于不同氣體的比例控制等有用。
 
  質(zhì)量流量控制器具有精度高,重復(fù)性好的特點(diǎn),可用于對(duì)于氣體或者液體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密測(cè)量和控制。其中包含擴(kuò)散,氧化,分子束外延,CVD,等離子刻蝕,濺射,離子注入,以及真空鍍膜設(shè)備,光纖熔煉,微反應(yīng)裝置,混氣配氣系統(tǒng),毛細(xì)管測(cè)量氣象色譜儀,光導(dǎo)纖維制造設(shè)備中。并廣泛用于冶金、石油化工、制藥等。

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